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对双电测组合四探针法测试方块电阻（Rs）和体电阻率（ρ）进行了研究，从理论和实践上揭示三种组合模式的共同优点；测量结果与探针间距无关，可使用不等距探针头；具有自动修正边界影响的功能，不必寻找修正因子；不移动探针头即可得知均匀性。推导出用于体电阻率时的厚度函数。论述了Rs、ρ大小样片及边界附近的测试原理，给出了Rs和ρ的计算公式。