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对硅片直接键合技术作了详细的研究；探明了合适的工艺条件，其结果键合的样品界面致密，成品率较高。
硅片直接键合技术的研究
【摘 要】
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对硅片直接键合技术作了详细的研究；探明了合适的工艺条件，其结果键合的样品界面致密，成品率较高。
【机 构】
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浙江大学电工厂
【出 处】
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电力电子技术
【发表日期】
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1994年4期
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