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扫描探针纳米加工技术的现状与发展趋势
扫描探针纳米加工技术的现状与发展趋势
来源 :大学化学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ygp313
【摘 要】
:
介绍了扫描探针纳米加工技术的基本原理、应用前景和最新进展,并讨论了该技术的发展趋势.
【作 者】
:
宫建茹
万立骏
白春礼
【机 构】
:
中国科学院化学研究所
【出 处】
:
大学化学
【发表日期】
:
2003年1期
【关键词】
:
扫描探针
纳米加工技术
现状
发展
微电子技术
机械刻蚀
电致刻蚀
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介绍了扫描探针纳米加工技术的基本原理、应用前景和最新进展,并讨论了该技术的发展趋势.
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