【摘 要】
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对键合金丝互连线的电磁特性进行建模仿真分析,并根据键合互连线的等效电路模型,设计了容性补偿枝节来改善金丝互连的微波信号传输特性。仿真结果表明,设计的金丝键合容性补偿枝节可以显著改善电路传输特性。在Ka波段,容性补偿枝节电路的插入损耗比补偿前减小了约0.15 dB;电压驻波比在30~40 GHz范围内改善了约0.4。
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对键合金丝互连线的电磁特性进行建模仿真分析,并根据键合互连线的等效电路模型,设计了容性补偿枝节来改善金丝互连的微波信号传输特性。仿真结果表明,设计的金丝键合容性补偿枝节可以显著改善电路传输特性。在Ka波段,容性补偿枝节电路的插入损耗比补偿前减小了约0.15 dB;电压驻波比在30~40 GHz范围内改善了约0.4。
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