阴极真空弧沉积中靶室第二阳极作用对系统性能的影响

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介绍了阴极真空弧沉积中,弧源在阴极接地和阳极接地两种不同工作状态下的工作特性.发现阳极接地时,因沉积靶室入口法兰的第二阳极作用,聚焦磁场对弧源放电稳定性的影响不如阴极接地时明显.因此可以加较高的聚焦磁场,从而获得流强较高和较稳定的沉积等离子体束.
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