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<正> 随着科学技术的飞速发展,电子技术已迈入大规模和超大规模集成电路时代。在半导体器件和集成电路的生产过程中,几乎各工序都要使用各种不同质量的电子气和超纯气体,从而促进了特种气体的发展。由于特种气体中有许多是易燃、易爆,有毒和腐蚀性的气体,所以,在生产和应用这些气体的
毒气对人体的危害和中毒症状
【摘 要】
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<正> 随着科学技术的飞速发展,电子技术已迈入大规模和超大规模集成电路时代。在半导体器件和集成电路的生产过程中,几乎各工序都要使用各种不同质量的电子气和超纯气体,从而
【机 构】
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北京市特种气体研究所,北京市特种气体研究所
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1989年1期
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