利用共振隧穿器件制作太赫兹波源

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太赫兹波是振荡频率在100GHz~10THz范围的电磁波,利用共振隧穿器件高频高速的特点,适宜制作此波段的振荡源器件。指出与其他类型的太赫兹源器件相比,共振隧穿型太赫兹波源器件具有体积小、重量轻、便于与控制电路集成以及易于进行调制等特点;此外,还适宜用Si透镜进行功率合成,增大其总发射功率。给出几种重要太赫兹共振隧穿器件的结构、制造工艺和器件性能,作为太赫兹技术领域的研究人员选择太赫兹波源器件的参考。 The terahertz wave is an electromagnetic wave with an oscillating frequency in the range of 100 GHz to 10 THz. By utilizing the characteristics of high frequency and high speed of the resonant tunneling device, the terahertz wave source is suitable for manufacturing the oscillating source device of the wave band. It is pointed out that compared with other types of terahertz source devices, the resonant tunneling terahertz source devices are small in size, light in weight, easy to integrate with the control circuit and easy to modulate. In addition, the Si lens is also suitable for power synthesis, Increase its total transmit power. The structure, manufacturing process and device performance of several important terahertz tunneling devices are given out as a reference for researchers choosing terahertz source devices in the field of terahertz technology.
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