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运用静止挡板截断蒸气流以改变衬底膜厚分布是真空镀膜中一项重要技术。本文以文献[1]中的膜厚分布基本公式出发。分析研究了有关技术途径。提出了适用于各类劈式光学薄膜制备的平面静止挡板透视投影设计法。
实现径向劈式光学薄膜的透视投影平面挡板设计法
【摘 要】
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运用静止挡板截断蒸气流以改变衬底膜厚分布是真空镀膜中一项重要技术。本文以文献[1]中的膜厚分布基本公式出发。分析研究了有关技术途径。提出了适用于各类劈式光学薄膜制
【机 构】
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福建师范大学激光研究所,福建师范大学激光研究所
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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1990年6期
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