【摘 要】
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磷在三氯氢硅中以三氯化磷形式存在,现在企业上使用检测手段通常为ICP-MS,此检测方法灵敏度高,检出质量浓度也可以达到μg/L,但是,运用此法必须对三氯氢硅原溶液进行预处理,
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磷在三氯氢硅中以三氯化磷形式存在,现在企业上使用检测手段通常为ICP-MS,此检测方法灵敏度高,检出质量浓度也可以达到μg/L,但是,运用此法必须对三氯氢硅原溶液进行预处理,因为三氯氢硅具有极强的腐蚀性,否则会损坏检测设备。另外,此检测设备价格昂贵,不适用于实验室普通大量检测,但是实验室常用检测磷质量浓度可以达到mg/L,故探讨出一种检测磷的常规方法——钼酸铵分光光度法,该法操作方便、设备廉价,且有足够的精度,有望得到工业应用。
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