【摘 要】
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运用薄膜光学干涉原理、光纤技术和干涉光谱分析技术 ,用光纤反射式干涉光谱仪(ReflectromicInterferenceSpectroscopy)直接测试宽带入射光在单晶硅表面超薄SiO2膜层前后界面
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运用薄膜光学干涉原理、光纤技术和干涉光谱分析技术 ,用光纤反射式干涉光谱仪(ReflectromicInterferenceSpectroscopy)直接测试宽带入射光在单晶硅表面超薄SiO2膜层前后界面反射形成的干涉光谱曲线 ,并用专业软件对被测光谱信号数据处理后 ,可直接用公式准确计算出SiO2氧化膜的厚度和光学折射率 通过对单晶硅片表面超薄SiO2氧化膜的实测 ,并与成熟的椭圆偏振仪测试结果相比 ,测试误差≤ 2nm 但该方法测试简单、快速 ,精度高 ,不需要制定仪器曲线和数表 ,可对薄膜任意位置的厚度在线测试 经过对不同厚度聚苯乙烯薄膜的厚度测试表明 ,该方法适合 0 .5～ 2 0 μm薄膜厚度的精确在线测量 ,测量误差小于 7nm .
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