【摘 要】
：
基于红外透射原理,采用调节光路的冷光源方法搭建了晶片键合界面的质量检测系统。利用该系统可以很好的实现GaAs,InP材料的键合界面检测和刀片分离时的在线监测,同时本文以Ga
【机 构】
：
深圳信息职业技术学院电子通信技术系,中科院半导体研究所纳米光电子实验室
论文部分内容阅读
基于红外透射原理,采用调节光路的冷光源方法搭建了晶片键合界面的质量检测系统。利用该系统可以很好的实现GaAs,InP材料的键合界面检测和刀片分离时的在线监测,同时本文以GaAs基分布布拉格反射镜（DBR）和InP基有源区键合为例,结合红外透视图像和薄膜转移照片分析,对键合表面处理方法进行了优化选择。试验表明该检测系统数据可靠,使用方便,为晶片键合条件及参数优化提供了实用平台。
其他文献
采用上下分根方法及根系观测技术,设置控制处理(仅接受白天自然光照),夜间光照处理(接受24 h光照),加水及夜间光照处理(接受24 h光照+加水),对梭梭根系是否存在水分再分配作
学困生在每一个学科教学中都不可避免地存在着,小学语文也不例外。对此,小学语文教师在实际教学工作中要本着不放弃任何一个学生的理念,加强对学困生的教育转化,采取合理有效
在结构的加固补强技术中，预应力CFRP板加固技术一直是国内外相关领域研究的前言课题。作为一种主动加固技术，预应力CFRP技术拥有强大的优势和广阔的应用空间。本文为国家自然科
在现代文学众多流派中,京派作家所受陶渊明的影响是最多的。在京派的人生和社会理想及艺术追求等方面,都可见到陶渊明的影子。京派文人通过对陶渊明独特的生命理想和艺术追求
太阳能蕴藏量大、可持续利用性强,是可再生能源最具发展前景的能源之一,将太阳能转换为电能的控制方式和转换效率是当前研究的重要方向,最大功率跟踪作为提高转换效率的必要
ASR技术的研究侧重于储水的水质变化、井的堵塞以及工程风险等问题,该技术除应用于水资源地下调蓄外,还广泛用于保护和修复生态环境、改善水质以及管理废水等.对我国地面开发
<正>为评价抗环瓜氨酸肽(CCP)抗体IgG/IgA型联合抗体对类风湿关节炎(RA)的诊断价值,应用INOVA抗CCP抗体3.1 IgG/IgA抗体酶联免疫吸附试验(ELISA)检测试剂盒定量检测172例RA患
"微警务"背景下,大连市公安局经济技术开发区分局公安微信形成了一系列具有自身特色的运行模式,以便民和惠警进行自身定位,秉持发展调整、互利共赢、与其他部门协同合作的理
绘画是一种视觉艺术，画家的思想感情的表达必须通过一定的图式题材才能表现出来，而图式的表述就要依赖于形式语言的运用，因此对形式语言的研究就要比绘画的题材和对物象本身的认
不同形态的介孔二氧化硅材料不仅具有特殊的孔道结构、较高的比表面积和孔体积、良好的水热稳定性以及易功能化等一系列优异性能，而且具有可调变的形貌，因此，受到人们越来越广泛