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报道了液氮温度下He 离子注入iNbO3波导的制备，采用棱镜耦合法测量了波导退火前后各导模的有效折射率，计算了波导层折射率的分布和晶体中He 离子的射程分布和损伤分布，两者吻合得较好。
He 离子注入LiNbO3晶体波导的制备及其性能研究
【摘 要】
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报道了液氮温度下He 离子注入iNbO3波导的制备，采用棱镜耦合法测量了波导退火前后各导模的有效折射率，计算了波导层折射率的分布和晶体中He 离子的射程分布和损伤分布，两者吻合得较好。
【机 构】
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山东师范大学物理系,济南250014山东大学物理系,济南250100香港城市理工学院电子工程系
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1996年16期
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