蓝宝石固相反应加工机理分析

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蓝宝石固相反应加工是利用单晶蓝宝石与软磨料发生固相反应,生成松软的反应层,再以机械方式去除该反应层的一种高效精密加工方法。研究表明,蓝宝石能够与SiO2、MgO、Fe2O3、CeO2及SiO2/ZnO/CeO2的混合磨料等在一定的条件下发生会固相反应,且固相反应速度受磨料的物质组成结构、颗粒尺寸、加工温度、压强、催化剂等因素的影响。蓝宝石固相反应加工机理的研究对实现蓝宝石超精密加工具有重要意义。
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