玻璃金属封接工艺的金相研究

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影响密封继电器使用的可靠性在于其气密性,而玻璃金属封接工艺是气密性的核心工艺。文章进行了一系列硅硼硬玻璃与4J29合金的封接试验,对各个关键封接工艺阶段的样品进行金相分析,得出一些获得气密封接的条件。在本试验条件下,4J29合金零件在1 020°C真空条件下,保温10min~30min,再经过在650°C可控气氛中保温2.5min~5min后,与玻璃坯封接得到的底座,泄漏率95%以上能达到≤1×10-4Pa.cm3.s-1。此外,采用金相技术分析了玻璃合金封接界面的结合情况,并提出了提高玻璃金属封接气密性的途径。
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