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美国弗琅荷费研究所(Fraunhofer Institute)的研究人员新近研制成功一种具有高度耐磨而且摩擦系数很小的表面金刚石涂层的氮化硅材料,商品名为“DiaCer”。它可广泛应用于重载下工作的工具和构件,如泵和成形模具等。氮化硅或碳化物陶瓷制件首先置于装设有热丝化学气相沉积装置的真空反应器中,然后通入甲烷和氢气,通过加热丝加热到白炽化温度,