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掠射X射线荧光分析技术是实验室分析薄膜特性的一种重要工具. 文章简述了利用掠出射X射线荧光技术分析薄膜厚度的原理和方法, 介绍了一种可在实验室里实现薄膜特性测试的掠发射X射线荧光分析装置, 该装置采用波长色散方式结合超薄窗流气正比计数管, 可实现对轻元素的探测. 最后从理论上计算了Si片上不同厚度的几种单层薄膜的X射线荧光强度和掠出射角的依赖关系. 证明了掠发射X射线荧光分析是一种精确的分析薄膜厚度等特性的方法.