【摘 要】
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NEC相模原事业部场地内的先进半导体研究开发设施——“UC楼”第一期开发线开始运行。“US楼”预计研究开发最窄条宽为0．18－0．ffil州世界最先进的微细加工技术。该楼为钢筋混凝
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NEC相模原事业部场地内的先进半导体研究开发设施——“UC楼”第一期开发线开始运行。“US楼”预计研究开发最窄条宽为0．18－0．ffil州世界最先进的微细加工技术。该楼为钢筋混凝土6层楼建筑，净化间为3层板结构。分3期依次建设开发试制线。本次在第6层楼计划建立用于制作0．18mp条宽以下开发试制线，月产3，op块电路。其特点是：（l）可大幅度减少开发试制日期，（2）研究、试制贯通线，（3）节省能量、资源，无公害线。从1998年开始进行300turn圆片工艺分析，进行以2000－2001年左右批量生产线起
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