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１发展微传感器技术的迫切性传感器作为信息技术领域重要的器件已得到国内外科技界、产业界普遍的认同和重视．众所周知，没有传感器对现实世界所包含的信息进行检测就谈不上对这些信息作进一步的加工处理，并作出适时的判断、控制及显示等，在这种情况下，即使那些再先进的电子电路、功能再强大的计算机此时也难为“无米之炊”．近代科技发展的历史证明，这样浅显的道理却并不是一开始就为人们所认识的．也许是由于商业利润上的诱惑，在７０年代各国微电子技术的研究开发占据战略性的重要地位，８０年代又将重点转换到材料和信息工程，直至９０年代，