激光退火的评论与分析——第二部分:激光退火的热分析

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三、激光退火的热分析 3.1模型的描述 3·1·1扩散方程的数值解由于吸收入射激光脉冲而产生的电子激发的弛豫时间为10_12sec数量级。假如希望描述受到0.1nsec或更长持续时间的脉冲辐照之后样品的热演变,完全可以利用普通的热扩散方程。在典型的实验结构中,入射脉冲的直 Thermal Analysis of Laser Annealing 3.1 Description of the Model 3.1.1 Numerical Solution of the Diffusion Equation The relaxation time of electron excitation due to the incident laser pulse is in the order of 10_12sec. If one wants to describe the thermal evolution of a sample after pulsed irradiation for a duration of 0.1 nsec or longer, it is entirely possible to utilize the ordinary thermal diffusion equation. In a typical experimental setup, the incident pulse is straight
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