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真空漏率校准装置与检漏
真空漏率校准装置与检漏
来源 :四川真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户:agony2013
【摘 要】
:
本文叙述国内外真空检漏技术动态,着重介绍常用流量计法校准真空漏率的标准装置,结构、原理、最后统观一下氦质谱检漏仪发展与现状。
【作 者】
:
吴根发
宋红
【机 构】
:
国防科工委真空计量二级站,国投南光有限公司
【出 处】
:
四川真空
【发表日期】
:
2000年2期
【关键词】
:
真空漏率
校准装置
流量计法
质谱检漏仪
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本文叙述国内外真空检漏技术动态,着重介绍常用流量计法校准真空漏率的标准装置,结构、原理、最后统观一下氦质谱检漏仪发展与现状。
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