【摘 要】
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目的探索基于原子层沉积法(Atomic Layer Deposition, ALD)的纳米涂层低温制备技术,并重点研究涂层沉积过程及纳米氧化铝涂层对刀具力学性能的影响。方法利用原子层沉积法,在
【机 构】
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湖南科技大学机械设备健康维护湖南省重点实验室,湖南科技大学深海深地矿产资源开发技术与装备教育部工程研究中心
【基金项目】
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国家自然科学基金(51305134),湖南省自然科学基金面上项目(2020JJ4308),湖南省研究生科研创新项目(CX20190805),湖南省教育厅资助科研项目(18B230)。
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目的探索基于原子层沉积法(Atomic Layer Deposition, ALD)的纳米涂层低温制备技术,并重点研究涂层沉积过程及纳米氧化铝涂层对刀具力学性能的影响。方法利用原子层沉积法,在200℃的环境下制备不同涂层厚度的纳米Al_2O_3涂层刀具,对涂层的微观组织、厚度、硬度、断裂韧性、断口形貌、弯曲强度、结合力及摩擦系数进行检测。结果 ALD沉积技术能将纳米涂层均匀沉积在YT5刀具表面,且涂层光滑,无滴状气泡,涂层厚度可以精确控制在纳米级。ALD涂层与基体结合力的大小与涂层厚度相关,随着涂层厚度增
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