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期刊论文
高效铜激光倍频及在光刻中的应用
高效铜激光倍频及在光刻中的应用
来源 :中国激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:breeze001
【摘 要】
:
通过线聚焦将自滤波振荡行波放大后的铜激光在BBO晶体中倍频,当基频光功率为5.4W时,倍频效率达14.4%。用铜激光倍频光进行接触式光刻,刻线分辨率优于1.0μm。
【作 者】
:
任虹
梁培辉
【出 处】
:
中国激光
【发表日期】
:
1995年1期
【关键词】
:
光刻
铜激光
倍频
准分子激光器
copper vapor laser
second-harmonic generation
photolithograph
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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通过线聚焦将自滤波振荡行波放大后的铜激光在BBO晶体中倍频,当基频光功率为5.4W时,倍频效率达14.4%。用铜激光倍频光进行接触式光刻,刻线分辨率优于1.0μm。
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