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通过磁控共溅射方法制备了一系列不同硅含量的锆-硅-氮复合薄膜；采用能谱仪、X射线衍射仪、扫描电镜和微力学探针等对复合薄膜进行了表征；研究了薄膜中硅、锆原子比对复合薄膜的显微组织、高温抗氧化性能和力学性能的影响。结果表明：随着硅含量的增加，复合薄膜的ZrN（111）、（220）晶面衍射峰逐渐消失，呈现ZrN（200）择优取向；同时其性能逐渐提高，当硅、锆原子比为0．030时可获得最大硬度和最大弹性模量，分别为37．8GPa和363GPa；进一步增加硅含量，复合薄膜向非晶态转化，而薄膜的硬度和弹性模量迅速降低