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Atomic scale KMC simulation of {100} oriented CVD diamond film growth under low substrate temperatur

来源 :北京科技大学学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：heeroyuyo

【摘 要】

：

The growth of {100} oriented CVD( Chemical Vapor Deposition) diamond film under Joe-Badgwell-Hauge(J-B-H) model is simulated at atomic scale by using revised KM

【作 者】

：

Xizhong YuZhang 等 

【机 构】

：

MaterialsScienceandEngineeringSchool,AppliedScienceSchool

【出 处】

：

北京科技大学学报：英文版

【发表日期】

：

2002年5期

【关键词】

：

CVD金刚石薄膜生长 低温衬底 KMC模拟 CVD diamond film  KMC method  atomic scale simulation  ato 

【基金项目】

：

[This work was financially supported by National Natural Science Founds of China (No. 59872003).]

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The growth of {100} oriented CVD( Chemical Vapor Deposition) diamond film under Joe-Badgwell-Hauge(J-B-H) model is simulated at atomic scale by using revised KMC(Kinetic Monte Carlo)method.The results show that:(1) under Joe's model,the growth mechani

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