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力反馈式微机械加速度计闭环系统的静电反馈力可以等效成一个与反馈电压成正比的负反馈力和一个与其平方成正比的负刚度，这使得加速度输入不同时，可以等效成不同参数的线性系统。首先，通过系统的等效开环数学模型的分析，提出静电反馈力的负刚度给整个系统带来的影响；然后在保证系统稳定性和其它性能的同时，以满足整个量程内的动态性能指标为目的，提出校正方案以及机械刚度的取值：接着对校验方案以及所选取参数进行了稳定性仿真和动态特性仿真；最后通过不同刚度和校正参数的两个加速度计的对比实验证明：适当提高系统机械刚度并合理选择校正参