Si1-x-yGexCy合金材料物理特性研究进展

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碳的加入为Si-Ge系统在能带和应变工程上提供了更大的灵活性.文章对Si 1-x-yGexCy合金材料物理特性的研究现状进行了概述,重点分析了替位式碳原子在Si1-xGex合金应变补偿和能带工程中的作用,并对其行为机理进行了分析和总结.
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