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对聚焦离子束加工技术在集成电路芯片的诊断与修改、修复光刻掩模缺陷、制作透射电镜样品以及多用途微切割上的应用作了详细介绍.
聚焦离子束加工技术及其应用
【摘 要】
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对聚焦离子束加工技术在集成电路芯片的诊断与修改、修复光刻掩模缺陷、制作透射电镜样品以及多用途微切割上的应用作了详细介绍.
【机 构】
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中国科学院电工研究所,中国科学院电工研究所
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2005年12期
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