【摘 要】
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用蒙特卡罗方法模拟计算了利用高能同轴背散射电子的扫描电子显微镜的空间分辨率.点源模型的模拟结果显示小的入射能量、探测能量窗口及探测角值对应较好的分辨率.对由两种不
【基金项目】
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国家自然科学基金，教育部高校骨干教师资助计划，武汉大学校科研和教改项目
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用蒙特卡罗方法模拟计算了利用高能同轴背散射电子的扫描电子显微镜的空间分辨率.点源模型的模拟结果显示小的入射能量、探测能量窗口及探测角值对应较好的分辨率.对由两种不同元素构成的边界而言,模拟结果显示:好的分辨率对应较小的探测能量窗口和较大的探测角,最佳的入射能量是10 keV.在合理优化电镜工作参数的前提下,最佳空间分辨率可达束斑大小的量级.
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