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微梁谐振器是微机电系统中常用的一种谐振器。基于修正雷诺方程和梁的振动理论，通过求解微梁的控制方程，得到了压膜阻尼对有孔微梁梁振动特性的影响，可以为器件的优化设计提供参考。
压膜阻尼对有孔微梁谐振器振动特性影响分析
【摘 要】
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微梁谐振器是微机电系统中常用的一种谐振器。基于修正雷诺方程和梁的振动理论，通过求解微梁的控制方程，得到了压膜阻尼对有孔微梁梁振动特性的影响，可以为器件的优化设计提供参
【机 构】
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西北农林科技大学机电学院
【出 处】
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湖南农机：学术版
【发表日期】
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2009年1期
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