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分析了由于反射镜倾斜导致的可调谐F-P（Fabry-Perot）滤波器失谐。设计了一种柔性铰链式微位移机构，由压电陶瓷驱动，采用平行四连杆机构进行传动导向。采用该机构驱动F-P腔镜扫描克服了直接使用压电陶瓷带来的腔镜倾斜问题。该机构已应用于可调谐F-P滤波器中，输出信号多周期峰值幅度均匀，重复性好。