【摘 要】
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采用直流磁控溅射法,在光学玻璃衬底上沉积类金刚石（DLC）和掺N类金刚石薄膜（DLC：N）。用喇曼光谱、X射线光电子能谱（XPS）、傅里叶红外光谱（FTIR）等研究分析了所制备薄膜的微观结构。喇
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采用直流磁控溅射法,在光学玻璃衬底上沉积类金刚石（DLC）和掺N类金刚石薄膜（DLC：N）。用喇曼光谱、X射线光电子能谱（XPS）、傅里叶红外光谱（FTIR）等研究分析了所制备薄膜的微观结构。喇曼光谱的结果表明,掺N类金刚石膜仍具有典型的类金刚石膜结构,在类金刚石薄膜中掺N不仅有助于提高膜中sp3/sp2的比例,而且还能阻止sp2键向石墨相的转化,稳定并优化薄膜的类金刚石属性。FTIR表明,薄膜中N与C原子形成了C—N、CN及C≡N等键合方式。XPS谱表明,掺N类金刚石膜中除了C和N元素外,还出现了少量的
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