有机多膦酸的电抛光性能及电抛光粘液膜的组成

来源 :应用化学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hyx19841101

【摘要】

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对5种有机多膦酸的电抛光效果研究表明,1-羟基乙叉-1,1-二膦酸,(HEDP),1-己膦基乙叉-1,1-二膦酸(EEDP)和N,N’-二甲叉膦酸甘氨酸(DMPG)可用于铜和铜合金的电抛光,其中HEDP的

【作者】

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方景礼丁建平

【机构】

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南京大学应用化学研究所,南京大学应用化学研究所南京210008,南京210008,南京210008

【出处】

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应用化学

【发表日期】

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1990年1期

【关键词】

：

有机多膦酸电抛光铜铜合金 organopolyphosphonic acid electropolishing XPS copper

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对5种有机多膦酸的电抛光效果研究表明,1-羟基乙叉-1,1-二膦酸,(HEDP),1-己膦基乙叉-1,1-二膦酸(EEDP)和N,N’-二甲叉膦酸甘氨酸(DMPG)可用于铜和铜合金的电抛光,其中HEDP的效果最好。在不同pH和不同成分(H_3PO_4.HEDP和H_3PO_4+HEDP)的电抛光液中在铜表面均观察到粘液膜的形成,它易用水洗去。XPS’_n检测表明,电抛光铜的表面无磷存在。由H_3PO_4+HEDP电抛光液得到的粘液膜具有很好的成膜性能,从-Ar~+溅射剥蚀曲线的恒定组成区求得固化粘液膜的

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