稀土离子掺杂Ti02—20wt％SnO2薄膜湿敏性能研究

来源 :内蒙古工业大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：perfew

【摘要】

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本试验采用溶胶-凝胶工艺在印有电极的石英玻璃表面，通过浸渍-提拉法制备稀土离子掺杂的TiO2-20wt％SnO2复合薄膜．研究当测试频率为0．01kHz时，烧结温度和稀土掺杂量对薄膜湿敏性能

【作者】

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刘红伟史志铭李红霞

【机构】

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内蒙古工业大学材料科学与工程学院,内蒙古新材料工程技术研究中心

【出处】

：

内蒙古工业大学学报：自然科学版

【发表日期】

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2010年2期

【关键词】

：

二氧化钛薄膜稀土湿敏性能离子掺杂 TiO- 2 film rare earth humidity sensing ion doping

【基金项目】

：

国家自然科学基金项目资助（50562003）

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本试验采用溶胶-凝胶工艺在印有电极的石英玻璃表面，通过浸渍-提拉法制备稀土离子掺杂的TiO2-20wt％SnO2复合薄膜．研究当测试频率为0．01kHz时，烧结温度和稀土掺杂量对薄膜湿敏性能的影响．试验结果表明：在400℃和500℃下烧结的薄膜的湿敏性能要优于在600℃和700℃烧结的薄膜的湿敏性能；掺杂稀土离子的薄膜的感湿性能得到了改善，固有阻值降低；400℃烧结的0．5wt％La2O3掺杂的薄膜在45～95RH％湿度范围内阻抗值下降两个数量级；500℃下烧结的0．2wt％CeO2掺杂的薄膜在25～95

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