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本文提出了一个MOVPE生长GaxAlyIn1-x -yN的膺热力学分析模型。假设此合金是由Ⅲ族元素与NH3 之间反应生成的。为了计算氨分解的影响 ,在模型中引入了氨分解率的概念 ,质量守恒方程是用摩尔量来计算的。我们计算了在不同生长条件下 ,与GaN晶格匹配的富Ga的GaxAlyIn1-x -yN合金组分和输入的Ⅲ族金属有机化合物摩尔比之间的关系。计算结果表明Al和Ga优先于In进入固相。为了增加固相的In含量应适当降低生长温度、使用氮载气、提高输入反应管的金属有机化合物的分压、采用高Ⅴ/Ⅲ比值和降低氨