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介绍了研制适合梁氏引线开关二极管用的硅外延材料的工艺过程，通过采用CVD化学气相外延生长技术，对硅源流量与掺杂剂浓度进行精确控制，解决了满足梁氏引线开关二极管用的薄层高阻硅外延材料问题。
梁氏引线开关二极管用硅外延材料
【摘 要】
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介绍了研制适合梁氏引线开关二极管用的硅外延材料的工艺过程，通过采用CVD化学气相外延生长技术，对硅源流量与掺杂剂浓度进行精确控制，解决了满足梁氏引线开关二极管用的薄层高
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
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天津科技
【发表日期】
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2012年6期
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