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对干冰微粒喷射法和低频超声波法清洗ITO玻璃的效果进行了比较研究。用接触角测量仪、SEM和XPS测量了清洗前后ITO玻璃表面的浸润性、污染颗粒数量和元素成分及含量等洁净度指标。研究表明，与超声波法清洗相比，干冰微粒喷射法清洗可以使ITO玻璃表面的接触角更小，有机碳含量减少40．5％，污染颗粒数量也显著减少，是一种清洗ITO玻璃的有效方法。