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台湾清华大学开发成功了几乎所有工序均采用CMOS工艺的触觉传感器。此次开发的传感器中，手触部分由带保护膜的金属薄膜构成，这层薄膜等下面的金属薄膜构成电容器。手触后，金属薄膜间的距离变小、电容器容量发生变化，通过这种变化实现触觉的感知。
采用CMOS工艺的触觉传感器
【摘 要】
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台湾清华大学开发成功了几乎所有工序均采用CMOS工艺的触觉传感器。此次开发的传感器中，手触部分由带保护膜的金属薄膜构成，这层薄膜等下面的金属薄膜构成电容器。手触后，金属薄
【出 处】
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机电工程技术
【发表日期】
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2006年9期
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