螺旋电极电化学机械复合抛光的试验研究

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介绍了一种使用螺旋式线型工具电极的电化学机械抛光新工艺。通过试验分析了加工过程中电化学机械复合作用机理及主要工艺参数对加工件表面质量的影响,实现了将较高的表面粗糙度值降至Ra0.25/μm以下的加工效果。
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