【摘 要】
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离子铣 (离子束刻蚀 )是利用离子束轰击固体表面的溅射作用 ,剥离加工各种几何图形的一种新工艺。电火箭发动机本体是一种大面积离子源 ,利用它产生的离子束 ,可对固体材料溅
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离子铣 (离子束刻蚀 )是利用离子束轰击固体表面的溅射作用 ,剥离加工各种几何图形的一种新工艺。电火箭发动机本体是一种大面积离子源 ,利用它产生的离子束 ,可对固体材料溅射刻蚀 ,对固体器件进行微细加工。本成果将这种离子源用于声表面波器件和动压陀螺气体轴承沟槽的刻蚀?
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