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功率器件的过流保护是提高灵巧功率集成电路可靠性的关键，采用不同的电流检测方法会有不同的误差。通过对功率MOSFET的电流检测技术的研究，对比分析了几种常用的电流感知方法，重点阐述了应用在灵巧功率集成电路中感知高压功率器件电流的SenseFET结构的工作原理，并分析了影响电流检测准确度的误差源。可以为设计高性能的电流检测过程提供参考。