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,Extraction of Channel Length Independent Series Resistance for Deeply Scaled Metal-Oxide-Semiconduc
【机 构】
：
School of Electronic Science and Engineering, Nanjing University, Nanjing 210093“,”Wuhan Xinxin Semi
【出 处】
：
中国物理快报（英文版）
【发表日期】
：
2014年9期
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,Enhanced Depth of Lift-off Pattern Defined with Soft Mold Ultraviolet Nanoimprint by Multi-Layer Ma
期刊
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