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综述了纳米氧化钨薄膜的各种制备方法:溶胶—凝胶法、溅射法、蒸发法、化学气相沉积法、阳极氧化法等,并比较了其优缺点;介绍了氧化钨薄膜的掺杂研究;对纳米氧化钨薄膜的电致变色、气敏特性等性质研究现状作了简要概述,提出了纳米氧化钨薄膜的发展前景。
纳米氧化钨薄膜的制备方法及其性质研究
【摘 要】
：
综述了纳米氧化钨薄膜的各种制备方法:溶胶—凝胶法、溅射法、蒸发法、化学气相沉积法、阳极氧化法等,并比较了其优缺点;介绍了氧化钨薄膜的掺杂研究;对纳米氧化钨薄膜的电致
【机 构】
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中国地质大学材料科学与化学工程学院
【出 处】
：
无机盐工业
【发表日期】
：
2006年01期
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