EUV掩膜版清洗--Intel的解决之道

来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zdp1888

【摘要】

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对于极紫外（EUV）光刻技术而言，掩膜版相关的一系列问题是其发展道路上必须跨越的鸿沟．而在这些之中又以如何解决掩膜版表面多层抗反射膜的污染问题最为关键。自然界中普遍存在的

【出处】

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集成电路应用

【发表日期】

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2008年6期

【关键词】

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掩膜版 EUV 清洗表面预处理光刻技术污染问题抗反射膜吸收能力

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对于极紫外（EUV）光刻技术而言，掩膜版相关的一系列问题是其发展道路上必须跨越的鸿沟．而在这些之中又以如何解决掩膜版表面多层抗反射膜的污染问题最为关键。自然界中普遍存在的碳和氧元素对于EUV光线具有极强的吸收能力，在Texas州Austin召开的表面预处理和清洗会议上，针对EUV掩膜版清洗方面遇到的问题和挑战，

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