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采用三级过滤—反渗透膜脱盐—多效蒸发联合工艺处理有机硅生产废水,并对反渗透膜的污染控制进行了研究。实验结果表明:高压膜脱盐率为96%左右,低压膜脱盐率为95%左右;膜系统COD去除率基本上稳定在98.25%,出水COD稳定在60 mg/L以下。针对膜污染问题,采用在线冲洗与不定期清洗相结合,有效改善了反渗透膜的污染状况,延长了膜的使用寿命。