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用射频共溅射和热退火处理的方法制备了纳米锗颗粒镶嵌ＳｉＯ２复合薄膜，观察到了多峰的光致发光现象。发现随着激光光波长的增长，多峰发光谱的最强峰向低能方向移动，但是各子峰的位置不发生改变，而且不同样品的发光谱子峰位置非常一致，Ｘ射线光电子能谱分析显示膜中不存在纳米晶硅成分，表明多峰光致发光与镶嵌在ＳｉＯ２复合中的纳米锗颗粒有关。