【摘 要】
:
采用反应磁控溅射的方法沉积二氧化硅薄膜,研究了二氧化硅薄膜的光学特性,并与用反应离子束溅射方法沉积二氧化硅薄膜进行了对比。实验结果表明:用反应磁控溅射法沉积二氧化
论文部分内容阅读
采用反应磁控溅射的方法沉积二氧化硅薄膜,研究了二氧化硅薄膜的光学特性,并与用反应离子束溅射方法沉积二氧化硅薄膜进行了对比。实验结果表明:用反应磁控溅射法沉积二氧化硅薄膜,薄膜的折射率、沉积速率主要受反应气体(氧气)浓度的影响,氧气含量超过15%(体积分数)后,溅射过程进入反应模式,沉积速率随氧气浓度增加而降低;入射光波长为630 nm时,薄膜折射率为1.50。对比2种薄膜沉积方法后确定,在二氧化硅薄膜工业生产中,反应磁控溅射方法更为可取。
其他文献
探讨核桃举肢蛾(Atrijuglans hetaohei)对植物挥发物的触角电位(electroantennogram,EAG)反应,为研发核桃举肢蛾植物源引诱剂提供依据。采用电生理学方法测试了核桃举肢蛾对3
大跨复杂空间钢管桁架结构由于其造型优美,具有较好的经济性,工厂化程度高等特点,近年来再国内发展很快。结构新颖的大空间甚至是超大空间建筑,比如大型体育场、体育馆和会展中心
柳青是中国当代文学史上一位非常重要的作家,在其独特的人生经历中逐渐形成了鲜明的创作理念。这些创作理念所促成的其对农村题材的开掘、对现实主义创作原则的坚守以及对历
以城市污泥和粘土为主要原料,通过原料化学成分分析,发热量测定,焙烧性能研究等试验。确定了原料的最佳配比及合理的生产工艺,研究了不同污泥含量配比下烧结砌块的抗压性能和
建立了外国游客在华停留时间与旅游服务质量的数学模型.用回归诊断剔除异常值的影响,用主成分回归消除因素之间的复共线性.结果表明导游、餐饮、购物、宾馆饭店和娱乐五项因素对
社会保障社会化的核心是政府分权和非政府组织参与,旨在改变政府包办社会保障的传统,实现政府与非政府组织共同提供社会保障服务。非政府组织参与社会保障的必要性、可行性与
根据螺旋绞刀磨损形式,分析了常用绞刀耐磨处理缺陷,开发研制了以碳化铌为主要硬质相的耐磨绞刀堆焊焊丝,并对其性能进行了试验和分析,结果表明:与高铬合金相比,含碳化铌L6堆焊合金
本文结合江西某新型建材有限公司送达的土样,经进行物理和化学分析实验后,对其结果作一分析论述。文章从原料的种类、制砖拈土原料物理性能的一般要求范围两方面对其物理性能实
旅游停留时间由于其在旅游系统中的重要性,长期以来都受到了国外旅游学术界的关注,研究成果颇丰,而国内的相关研究则起步较晚且给予的重视程度不够。本文对停留时间的国内外