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本文采用激光作为期期热源。用周期热流法测量了厚度为30μm-100μm的不锈钢、钼和铜等薄膜的热扩敞率,工作温度从室温到300℃.从理论上分析了测量过程中出现的散热效应、二维效应、空气层参与效应及端部效应等,提出了修正的方法。
激光加热的周期热流法测量薄膜的热扩散率
【摘 要】
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本文采用激光作为期期热源。用周期热流法测量了厚度为30μm-100μm的不锈钢、钼和铜等薄膜的热扩敞率,工作温度从室温到300℃.从理论上分析了测量过程中出现的散热效应、二
【机 构】
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清华大学工程力学系,清华大学工程力学系
【出 处】
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工程热物理学报
【发表日期】
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1993年2期
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