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多孔SiO2厚膜湿度传感器的制造及其湿敏特性
多孔SiO2厚膜湿度传感器的制造及其湿敏特性
来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:laumingka
【摘 要】
:
用Sol-Gel方法制备了三种SiO2凝胶,并以此制造了多孔SiO2厚膜湿度传感器。其电容量-湿度关系呈开关特性,转变点约在85%RH。
【作 者】
:
方湘怡
武明堂
【机 构】
:
西安交通大学理学院
【出 处】
:
电子元件与材料
【发表日期】
:
1995年5期
【关键词】
:
二氧化硅
湿敏特性
湿度测量
制造
thick film technology porous SiO2 humidity sensors.
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用Sol-Gel方法制备了三种SiO2凝胶,并以此制造了多孔SiO2厚膜湿度传感器。其电容量-湿度关系呈开关特性,转变点约在85%RH。
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