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氧化锌半导体薄膜是用于空间原子氧探测的一种敏感材料.采用脉冲激光沉积方法(pld)在(001)取向的蓝宝石基底上制备出了高质量的氧化锌薄膜,并在地面原子氧模拟设备中考察了其原子氧敏感特性.结果表明,氧化锌薄膜对原子氧有较好的敏感特性,并且在受热后导电性能可以恢复,满足重复探测的要求.
氧化锌半导体薄膜在原子氧探测中的应用
【摘 要】
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氧化锌半导体薄膜是用于空间原子氧探测的一种敏感材料.采用脉冲激光沉积方法(pld)在(001)取向的蓝宝石基底上制备出了高质量的氧化锌薄膜,并在地面原子氧模拟设备中考察了其
【机 构】
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兰州物理研究所
【出 处】
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航天器环境工程
【发表日期】
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2009年2期
【基金项目】
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真空低温技术与物理国家重点实验室基金
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