【摘 要】
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Diamond films have been synthesized by means of LCVD through combined effects of a XeCl ultraviolet laser and an infrared CO2 laser. A special apparatus has bee
【出 处】
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Journal of Materials Science & Technology
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Diamond films have been synthesized by means of LCVD through combined effects of a XeCl ultraviolet laser and an infrared CO2 laser. A special apparatus has been developed. The conditions of synthesis and the roles played by both lasers were studied. High-purity diamond films were deposited on Si substrates at 340℃.
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